米格实验室-透射电子显微镜（TEM）及原子力显微镜（AFM）知识普及

TEM 主要由三部分组成：电子光学系统（又称镜筒）、真空系统和供电系统。

它的成像原理是电子衍射衬度成像。

（1） 当一束平行光束照射到具有周期性结构特征的物体时，便产生衍射现象。除零级衍射束外，还有各级衍射束，经过透镜的聚焦作用，在其后焦面上形成衍射振幅的极大值，每一个振幅的极大值又可看作次级相干源，由它们发出次级波在像平面上相干成像。在透射电镜中，用电子束代替平行入射光束，用薄膜状的样品代替周期性结构物体，就可重复以上衍射成像过程。

（2） 对于透射电镜，改变中间镜的电流，使中间镜的物平面从一次像平面移向物镜的后焦面，可得到衍射谱。反之，让中间镜的物平面从后焦面向下移到一次像平面，就可看到像。这就是为什么透射电镜既能看到衍射谱又能观察像的原因。

透射电子显微镜TEM（Transmission Electron Microscope）是通过撷取穿透物质的透射电子或弹性电子成像或做成衍射图样来做微细组织和晶体结构研究，分析时，通常是利用电子成像的衍射对比，做成明视野或暗视野影像，并配合衍射图案来进行观察。

也称扫描力显微镜，其工作原理为，一个对力非常敏感的微悬臂，其尖端有一个微小的探针，当探针接近样品表面时，由于原子间的相互作用力，使得装配探针的悬臂发生微弯曲，检测到微弯曲的情况，就知道表面与原子之间的原子力大小。将微悬臂弯曲的信号的形变转换成光电信号并放大，就可以得到原子之间力的微弱变化信号。利用微悬臂间接地感受和放大原子之间的作用力，从而达到检测的目的。在探针沿表面扫描时，保持尖端与表面原子力恒定所需施加于压电材料两端的电压波形，就反映了表面形貌。原子力显微镜能观察到纳米尺度的物体，甚至可看到原子。