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[科学仪器]

自动探针台

 楼主| 半导体学者 发表于 2022-1-20 09:16  
查看: 86435|回复: 0|
一、 什么是自动探针台

自动探针台是一种用于电子与通信技术、计算机科学技术领域的工艺试验仪器。从装片方式上区分,分为全自动和半自动两种。主要用于晶圆测试,晶圆尺寸:4,,6,8 ,12英寸晶圆片装卸:1个载片盒 (25 或者 26 个片槽),连续的可编程双向加载,快速单片晶圆手动上下片,防晶圆交叉保护 XYZ- 精度:±3微米。

二、 设备外观




三、 主要功能

1. TTL专用测试仪接口;GPIB/RS232/网络接口(选配);与测试机连接方便;

2. Windows风格界面,动态显示测试过程,MAP图实时显示、存储;

3. Map导航功能,map编辑(可编辑标注DIE属性、测试区域);

4. 自动测试方式有矩阵、圆形方式、Map方式;

5. 图像对准功能,自动扫描,自动首点对准;

6. 不良品喷墨打点标记,墨点尺寸Ø0.5mm;

7. 分级权限管理;

8. 控制打印机打印测试结果;

9. 配合上位机,上传并记录测试数据。

四、 主要技术指标

性能名称        技术指标
可测行程范围        200*200mm
测试点(PAD)要求        不小于0.05mm直径
工作台        最大行程        210mm×300mm
定位精度        ≤±0.01mm/100mm
工作台速度        ≥100mm/s
步进分辨率        0.001mm
集成式防震平台        固有频率<1.5~2Hz
测试工具        探针座/探卡可选
承片台        Z向行程        19mm
Z向定位精度        ≤±0.003mm
Z向分辨率        0.001mm
θ向调节范围        ±10°
θ向分辨率        0.00625°
CCD摄像机        自动对准、自动扎片、测试观察
测试效率(UPH)        ≥100
上、下片方式        手动方式
外形尺寸(宽×深×高)        1300mm×840mm×1500mm
五、使用环境:

1. 电源:AC 220V±22V 50Hz±1Hz,功率:<1.5KW

2. 压缩空气源:> 0.7MPa,10L/H

3. 使用环境:温度:15oC-25oC 相对湿度:<70%

自动探针台
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