一、 什么是自动探针台
自动探针台是一种用于电子与通信技术、计算机科学技术领域的工艺试验仪器。从装片方式上区分，分为全自动和半自动两种。主要用于晶圆测试，晶圆尺寸：4,,6,8 ，12英寸晶圆片装卸：1个载片盒 (25 或者 26 个片槽)，连续的可编程双向加载，快速单片晶圆手动上下片，防晶圆交叉保护 XYZ- 精度：±3微米。
二、 设备外观
三、 主要功能
1. TTL专用测试仪接口；GPIB/RS232/网络接口（选配）；与测试机连接方便；
2. Windows风格界面，动态显示测试过程，MAP图实时显示、存储；
3. Map导航功能，map编辑（可编辑标注DIE属性、测试区域）；
4. 自动测试方式有矩阵、圆形方式、Map方式；
5. 图像对准功能，自动扫描，自动首点对准；
6. 不良品喷墨打点标记，墨点尺寸Ø0.5mm；
7. 分级权限管理；
8. 控制打印机打印测试结果；
9. 配合上位机，上传并记录测试数据。
四、 主要技术指标
性能名称 技术指标
可测行程范围 200*200mm
测试点（PAD）要求 不小于0.05mm直径
工作台 最大行程 210mm×300mm
定位精度 ≤±0.01mm/100mm
工作台速度 ≥100mm/s
步进分辨率 0.001mm
集成式防震平台 固有频率＜1.5~2Hz
测试工具 探针座/探卡可选
承片台 Z向行程 19mm
Z向定位精度 ≤±0.003mm
Z向分辨率 0.001mm
θ向调节范围 ±10°
θ向分辨率 0.00625°
CCD摄像机 自动对准、自动扎片、测试观察
测试效率（UPH） ≥100
上、下片方式 手动方式
外形尺寸（宽×深×高） 1300mm×840mm×1500mm
五、使用环境：
1. 电源：AC 220V±22V 50Hz±1Hz，功率：＜1.5KW
2. 压缩空气源：> 0.7MPa，10L/H
3. 使用环境：温度：15oC-25oC 相对湿度：＜70%
自动探针台 |
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